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台阶仪

简要描述:台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新日期:2024-04-25
  • 访  问  量:428

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详细介绍

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

台阶仪参数

项 目 简 述

参数说明

1.共焦

  • 可快速垂直扫描的旋转共焦技术。

  • 使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150) 全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°) 。

  • 具有光学形貌上高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置。

  • 在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制

  • 应用于透明层/薄膜。

  • 兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

  • 长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

  • 稳定性。

2.干涉仪(WLI)

  • Z向高分辨率

  • 兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式

  • Z向分辨率可独立放大

  • 四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光绿光蓝光和红光)

  • 高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

  • 快速处理器

  • 自动对焦

3.原子力显微镜

  • 探针扫描可用于大型模板

  • XYZ三向可达原子级分辨率

  • 大压电探针扫描XY: 达到 110x110um

4.变焦

  • 粗糙表面分析

  • 快速分析

  • 一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜















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